涂程，电子科技大学集成电路科学与工程学院（示范性微电子学院）副研究员，四川省青年人才，中国电子学会高级会员，中国微米纳米技术协会高级会员，研究领域为微机电系统（MEMS），重点研究射频MEMS器件，包括基于硅上压电薄膜（Thin-Piezoelectric film on Slicon, TPoS）结构的射频声学谐振器、谐振式传感器（加速度、磁场、压力、温度等）、多功能集成传感芯片和射频声学滤波器。

    涂程在电子科技大学获得学士和硕士学位，在香港城市大学获得博士学位，之后分别在美国伊利诺伊大学香槟分校和美国东北大学从事博士后研究工作，着力解决TPoS谐振器的三维高精度模型建立、能量损耗机理分析和品质因数提升、高性能谐振式传感感知等关键性科学问题和工程难点，在MEMS研究领域已发表学术论文50余篇，其中第一作者发表SCI期刊论文17篇（包括Microsystems & Nanoengineering、IEEE-UFFC、SNA、EDL、APL、JMEMS、JMM等领域内重要学术期刊）、第一作者发表国际学术会议论文10余篇（包括领域内高水平会议MEMS、Transducers等），申请/授权发明专利19项，担任IEEE NEMS 2021国际学术会议TPC委员及分会主席，担任多个国际学术期刊审稿人，目前承担国家自然科学基金青年项目、国家重点研发计划项目、四川省重点研发计划项目、领军电子企业和科研院所重点合作项目共8项。

代表性期刊论文

[1]  C. Tu , X. Ou-yang, Y. Wu, and  X. Zhang,  Single-structure 3-axis Lorentz force magnetometer based on an AlN-on-Si MEMS resonator, Microsystems & Nanoengineering, 2024.

[2]  C. Tu , T. Zhang, Z. Zhang, Q. Huang, and  X. Zhang,  Investigation of spurious mode suppression in 3.8 GHz shear-horizontal mode surface acoustic wave resonators based on LiNbO3/SiO2/Si multilayer structure, Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 34, no. 4, Mar 2024.

[3]  C. Tu ,  L. Qiao ,  L. Li ,  Y. Chen ,  and  X. Zhang ,  Investigation on Quasi Lamb Wave Modes in AlN-on-Si MEMS Resonators, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, vol. 70, pp. 1252-1260, Oct 2023.

[4]  C. Tu ,  M. Yang ,  Z. Zhang ,  X. Lv ,  L. Li ,  and  X. Zhang ,  Highly Sensitive Temperature Sensor Based on Coupled-Beam AlN-on-Si MEMS Resonators Operating in Out-of-Plane Flexural Vibration Modes, Research, vol. 2022, Aug 2022.

[5]  C. Tu ,  J. Lee ,  and  X. Zhang ,  Dissipation Analysis Methods and Q-Enhancement Strategies in Piezoelectric MEMS Laterally Vibrating Resonators: A Review, Sensors, vol. 20, no. 17, Sep 2020.

[6]  C. Tu ,  Z. Chu ,  B. Spetzler ,  P. Hayes ,  C. Dong ,  X. Liang ,  H. Chen ,  Y. He ,  Y. Wei ,  I. Lisenkov ,  H. Lin ,  Y. McCord ,  F. Faupel ,  E. Quandt ,  and  N. Sun ,  Mechanical-resonance-enhanced thin-film magnetoelectric heterostructures for magnetometers, mechanical antennas, tunable RF inductors, and filters, Materials, vol. 12, no. 14, Jul 2019.

[7]  C. Tu ,  C. Dong ,  Z. Chu ,  H. Chen ,  X. Liang ,  and  N. Sun ,  A passive isolator realized by magnetoelectric laminate composites, Applied Physics Letters, vol. 113, no. 26, Dec 2018.

[8]  C. Tu ,  A. Frank ,  S. Michael ,  J. Stegner ,  U. Stehr ,  M. Hein ,  and  J. Lee ,  Applying laser Doppler vibrometry to probe anchor losses in MEMS AlN-on-Si contour mode resonators, Sensors and Actuators A: Physical, vol. 263, pp. 188-197, Aug 2017.

[9]  C. Tu and  J. Lee ,  Enhancing quality factor by etch holes in piezoelectric-on-silicon lateral mode resonators, Sensors and Actuators A: Physical, vol. 259, pp. 144-151, Jun 2017.

[10]  C. Tu and  J. Lee ,  Effects of Cryogenic Cooling on the Quality Factor of Lamb Wave Mode Aluminium Nitride Piezoelectric-on-Silicon MEMS Resonators, Sensors and Actuators A: Physical, vol. 244, pp. 15-23, Jun 2016.

[11]  C. Tu and  J. Lee ,  VHF-band biconvex AlN-on-silicon micromechanical resonators with enhanced quality factor and suppressed spurious modes, Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 26, no. 6, Jun 2016.

[12]  C. Tu and  J. Lee ,  A semi-analytical modeling approach for laterally-vibrating thin-film piezoelectric-on-silicon micromechanical resonators, Journal of Micromechanics and Microengineering, vol. 25, no. 11, Oct 2015.

[13]  C. Tu ,  H. Zhu ,  Y. Xu ,  and  J. Lee ,  Differential-capacitive-input and differential-piezoresistive-output enhanced transduction of a silicon bulk-mode microelectromechanical resonator, Sensors and Actuators A: Physical, vol. 210, pp. 41-50, Apr 2014.

[14]  C. Tu and  J. Lee ,  Ambient temperature and bias conditions induced frequency drifts in an uncompensated SOI piezoresistive resonator, Sensors and Actuators A: Physical, vol. 202, pp. 140-146, Nov 2013.

[15]  C. Tu and  J. Lee ,  Crystallographic effects on energy dissipation in high-Q silicon bulk mode resonators, Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 22, no. 2, pp. 262-264, Apr 2013.

[16]  C. Tu and  J. Lee ,  Increased dissipation from distributed etch holes in a lateral breathing mode silicon micromechanical resonator, Applied Physics Letters, vol. 101, no. 2, Jul 2012.

[17] C. Tu and  J. Lee ,  Thermoelastic dissipation in etch-hole filled Lamé bulk-mode silicon microresonators, IEEE Electron Device Letters, vol. 33, no. 3, Mar 2012.

招生信息

学科代码及名称          研究方向代码及名称    

140100集成电路科学与工程   01微电子器件与集成电路    

085403集成电路工程       01微电子器件与集成电路    

2013.9 -- 2016.10
香港城市大学       电子工程       博士研究生毕业       工学博士学位

2008.9 -- 2011.6
电子科技大学       电路与系统       硕士研究生毕业       工学硕士学位

2004.9 -- 2008.7
电子科技大学       电子信息工程       大学本科毕业       工学学士学位

2019.9 -- 至今

电子科技大学

2018.6 -- 2019.9

美国东北大学      博士后

2018.6 -- 2019.9

美国东北大学      博士后

2016.11 -- 2018.6

美国伊利诺伊大学香槟分校      博士后

2011.9 -- 2013.9

香港城市大学      研究助理