[1]面向大视场、高精度应用的MEMS激光雷达振镜研制
相比于传统微波雷达,MEMS激光雷达分辨率更高、抗干扰能力更强、体积更小且质量更轻,在障碍物检测与回避、物体识别与跟踪、同时定位与映射等领域具有广泛的应用前景。随着测量视角与检测精度的需求提升,激光雷达的核心部件-MEMS振镜面临车/机载振动失效与角度控制精度低等难题。为解决以上产业化难题,团队与华为合作,共同致力于开发振镜可靠性保护系统、镜面角度高粗度检测技术(0.001。)以及振镜控制技术。
[2]MEMS传感器研制
长期致力于MEMS传感器性能提升技术研究,开发高可靠性解决方案,通过结构优化、电路改进、封装优化等解决了MEMS加速度传感器的短期漂移、长期漂移及温度漂移难题。
[3]MEMS驱动器研制
与中物院微太中心共同开发与研究大扭矩、低转速、可步进控制的行波马达。