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发表刊物:Journal of Micromechanics and Microengineering
第一作者:C. Tu
论文类型:Article
通讯作者:J. Lee
论文编号:WOS: 000376175600013
卷号:26
期号:6
ISSN号:0960-1317
是否译文:否
发表时间:2016-06-30
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