陈开鑫
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利用“985”经费,团队建立了完备的从材料合成到器件测试的光波导技术研究平台,拥有百级超净间,千级超净间,光学测试间,电学测试间及材料合成间等。实验设备包括光刻机,磁控溅射仪,感应耦合等离子体刻蚀(ICP)系统,台阶仪,热蒸发台,光谱分析仪,棱镜耦合仪,紫外固化光源,光波导耦合测试平台、宽带光源,可调谐偏振激光源、40GH微波信号源、大倍数光学显微镜,等较为齐备的光波导制作及器件的光、电测试仪器。整个实验室可以同时容纳10-12人开展实验工作。