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Consideration of the fringe effects of capacitors in micro accelerometer design

发布时间：2022-12-28  点击次数：
发表刊物：Transactions of the Institute of Measurement and Control
全部作者：Hongfang Lan,Huijun Yu,Liushan Lai,Bei Peng,Xiaoping He
第一作者：Wu Zhou*
卷号：40
期号：9
页面范围：2881–2886
是否译文：否
发表时间：2018-06-02
发表时间：2018-06-02
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周吴

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