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A High-Resolution Optical Displacement Detection Method for Piezoelectric Microvibratory Stage

发布时间：2022-12-28  点击次数：
发表刊物：IEEE Transactions on Industrial Electronics
全部作者：Longqi Ran,Huijun Yu,Bei Peng,Rui Hao
第一作者：Haixiang Zhan
通讯作者：Wu Zhou*
卷号：67
期号：12
页面范围：10897-10904
是否译文：否
发表时间：2020-12-16
发表时间：2020-12-16
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周吴

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