An Improved SOI-on-Glass Fabrication Method of Large-Area Sheeting of MEMS Isolator
发布时间：2023-10-06 点击次数：
所属单位：University of Electronic Science and Technology of China
教研室：MEMS中心
发表刊物：The 18th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2023)
刊物所在地：Jeju, Korea
全部作者：Longqi Ran,Jiangbo He,Zongda Hu,Yichuan Wu,Binlei Cao
通讯作者：Wu Zhou
文献类型：C
页面范围：62-65
ISSN号：2474-3755
是否译文：否
发表时间：2023-07-31
发表时间：2023-07-31
