一种光学位移检测传感器组件
发布时间：2022-12-28 点击次数：
所属单位：电子科技大学
专利范围：发明专利
学校署名：第一
专利说明：用于检测微板平移与转动
专利类型：发明专利
专利状态：授权
授权号：ZL201910490502.X
发明人数：5
是否职务专利：否
授权日期：2020-09-01
