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Scientific Research

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Research Field



  • 1. 薄膜材料制备

    实验室拥有电子束蒸发、磁控溅射、等离子增强化学气相沉积(PECVD)、原子层沉积(ALD)多台薄膜制备设备,并建有万级超净间,能够实现氧化物、金属、半导体多种微纳薄膜材料的可控生长。

    电子束蒸发

    射频磁控溅射

    多靶直流磁控溅射

    WKS-300A高温真空加热炉

    原子层沉积(ALD)

    轮廓仪



    2. 薄膜微结构分析与表征

    拥有XRD、SEM、TEM、AFM、XPS、Raman多项微结构测试与表征手段


     



          3. 耐高温绝热绝缘涂层

    实现了柔性金属衬底、陶瓷衬底的绝缘绝热涂层制备

     



    4. 集成薄膜传感器

    薄膜热电偶、薄膜热电阻、薄膜应变计、薄膜气体质量流量传感器、薄膜热流计等多种快响应薄膜传感器的制备与性能表征

    主要应用

    航空、航天、化工、能源、消费电子等领域

          

         



         

         

李泽宏

Gender:Male Education Level:With Certificate of Graduation for Doctorate Study Degree:Doctor of Engineering