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1. 薄膜材料制备

实验室拥有电子束蒸发、磁控溅射、等离子增强化学气相沉积（PECVD)、原子层沉积（ALD）多台薄膜制备设备，并建有万级超净间，能够实现氧化物、金属、半导体多种微纳薄膜材料的可控生长。

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2. 薄膜微结构分析与表征

拥有XRD、SEM、TEM、AFM、XPS、Raman多项微结构测试与表征手段

 

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      3. 耐高温绝热绝缘涂层

实现了柔性金属衬底、陶瓷衬底的绝缘绝热涂层制备

 

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4. 集成薄膜传感器

薄膜热电偶、薄膜热电阻、薄膜应变计、薄膜气体质量流量传感器、薄膜热流计等多种快响应薄膜传感器的制备与性能表征

主要应用

航空、航天、化工、能源、消费电子等领域