研究领域



    1. 薄膜材料制备

    实验室拥有电子束蒸发、磁控溅射、等离子增强化学气相沉积(PECVD)、原子层沉积(ALD)多台薄膜制备设备,并建有万级超净间,能够实现氧化物、金属、半导体多种微纳薄膜材料的可控生长。



    2. 薄膜微结构分析与表征

    拥有XRD、SEM、TEM、AFM、XPS、Raman多项微结构测试与表征手段


     



          3. 耐高温绝热绝缘涂层

    实现了柔性金属衬底、陶瓷衬底的绝缘绝热涂层制备

     



    4. 集成薄膜传感器

    薄膜热电偶、薄膜热电阻、薄膜应变计、薄膜气体质量流量传感器、薄膜热流计等多种快响应薄膜传感器的制备与性能表征

    主要应用

    航空、航天、化工、能源、消费电子等领域

          

         



         

         

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科研

个人信息

  • 性别:男
  • 职称:研究员
  • 毕业院校:爱荷华州立大学
  • 学历:博士研究生毕业
  • 学位:工学博士学位
  • 所在单位:集成电路科学与工程学院(示范性微电子学院)
  • 学科: 材料科学与工程;
    电子信息材料与元器件

其他联系方式

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