一种金属基薄膜传感器的制备方法

点击次数:发布时间:2017-12-06

  • 第一作者:赵晓辉
  • 专利类型:发明
  • 专利状态:授权专利
  • 是否职务专利:否
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专利

个人信息

  • 性别:男
  • 职称:研究员
  • 毕业院校:爱荷华州立大学
  • 学历:博士研究生毕业
  • 学位:工学博士学位
  • 所在单位:集成电路科学与工程学院(示范性微电子学院)
  • 学科: 材料科学与工程;
    电子信息材料与元器件

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