MEMS微镜高精度光学角度检测及控制技术研究合作项目
发布时间：2022-12-28 点击次数：
所属单位：电子科技大学
负责人姓名：周吴
项目状态：四川
项目简要备注：实现微镜0.01度转角高精度控制，项目经费208万。
项目来源单位：华为技术有限公司2012实验室
成果形式：检测系统及专利
说明：本项目探索一种检测精度高、受环境影响小的光学反馈方式，可同时检测MEMS微镜的XY两个方向偏转角度，角度检测精度要求满足≤0.01°，同时探索基于光学反馈的高精度控制算法，控制精度达到≤0.03°要求。
项目来源：华为技术有限公司
项目级别：横向技术开发
项目参与人员：冉龙骐,何江波,漆军,朱明磊,龚旭辉,王岩
学科门类：工学
一级学科：机械工程
立项时间：2022-08-01
计划完成时间：2023-09-30
结项日期：2022-09-30
开始日期：2022-08-01
