MEMS微镜隔振衬底设计及可靠性封装技术研究技术
发布时间：2022-12-28 点击次数：
所属单位：电子科技大学
负责人姓名：周吴
项目状态：四川
项目简要备注：护航MEMS微镜过车规，经费206万。
项目来源单位：华为技术有限公司2012实验室
成果形式：样机与专利
说明：探索一种具有隔振频带宽、衰减性能强、稳定时间快的微型隔振衬底，同时对隔振系统的微弹性梁设计、阻尼特性及MEMS 可靠性封装方案进行探索，最终助力MEMS 微镜系统通过AEC-Q100 车规认证。
项目来源：华为技术有限公司
项目级别：横向技术开发
项目参与人员：冉龙骐,何江波
学科门类：工学
一级学科：机械工程
立项时间：2021-01-31
计划完成时间：2022-01-30
结项日期：2022-01-30
开始日期：2021-01-31
