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Improved MEMS piezoelectric vibratory stage with reduced off-axis error

发布时间：2022-12-28  点击次数：
发表刊物：J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS
全部作者：Bei Peng,Huijun Yu,Hu Zhao
第一作者：Rui Hao
通讯作者：Wu Zhou*
论文编号：015002
卷号：19
期号：1
是否译文：否
发表时间：2020-02-21
发表时间：2020-02-21
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周吴

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