访问量：    最后更新时间：--

论文成果

当前位置: 中文主页 > 科学研究 > 论文成果

Investigation of the Contact Characteristics of Silicon–Gold in an Anodic Bonding Structure

发布时间：2022-12-28  点击次数：
发表刊物：Micromachines
全部作者：Kaicong Cao,Longqi Ran,Huijun Yu
第一作者：Lin Zhang
通讯作者：Wu Zhou*
论文编号：264
卷号：2022
期号：13
页面范围：264(10 pages)
是否译文：否
发表时间：2022-02-06
发表时间：2022-02-06
上一条：MEMS 压力传感器新型膜结构设计与优化 下一条：A Piezoelectric Microultrasonic Motor With High Q and Good Mode Match

周吴

同专业博导

Research direction

究方向 more +

Contact information

系方式

邮编：

通讯/办公地址：

邮箱：

清水河校区：成都市高新区（西区）西源大道2006号　邮编： 611731  
沙河校区：成都市建设北路二段四号　邮编：610054
蜀ICP备 05006379 号   I　川公网安备 51019002000280 号