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MEMS 压力传感器新型膜结构设计与优化

发布时间：2022-12-28  点击次数：
发表刊物：机械设计
全部作者：张顺星,于慧君,彭倍
第一作者：卢鹏
通讯作者：周吴*
卷号：39
期号：3
页面范围：61-67
是否译文：否
发表时间：2022-03-23
发表时间：2022-03-23
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周吴

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