课程名称：Microelectronic Fabrication Process & MEMS

授课教师：Prof. Qi Zhou

开课学期：春学期

所属学科：电子科学与技术

面向对象：Postgraduate student

课程号：0208097016

学分：2.0

课程类型：研究生课程

是否精品课程：否

学时：40.0